HOT TOPIC: Entegris tại SPIE 2026 – Giải pháp EUV Filtration & Pod | Filterfine

Filterfine Việt Nam trân trọng chia sẻ thông tin từ Entegris – đối tác công nghệ chiến lược của chúng tôi – về sự kiện SPIE Advanced Lithography and Patterning 2026, nơi Entegris sẽ giới thiệu những đổi mới mới nhất trong:

✅ Filtration – Giải pháp lọc siêu tinh khiết
✅ Purification – Công nghệ tinh sạch hóa chất
✅ Pod Design – Thiết kế pod cho quy trình EUV tiên tiến

Các giải pháp này tập trung trực tiếp vào việc giảm khiếm khuyết, nâng cao năng suất, và hỗ trợ quy trình EUV thế hệ tiếp theo trong sản xuất bán dẫn.

📍 Conference Session

🗓 February 25 | ⏰ 10:30 AM
📌 Grand Ballroom 220A

Particle Quantification on EUV Inner Pods Using Adhesive and Light-Scattering Tool
👉 Định lượng hạt bụi bên trong EUV pod bằng công nghệ adhesive & tán xạ ánh sáng – giúp đánh giá chính xác nguồn phát sinh particle trong môi trường siêu sạch.

📍 Poster Sessions

🗓 February 25 | ⏰ 5:30 PM – 7:00 PM
📌 Convention Center – Hall B

Entegris sẽ trình bày loạt nghiên cứu ứng dụng chuyên sâu:

🔹 A Novel Purifier for Acid-Sensitive Applications
Ức chế dimer hóa và kim loại vết trong hệ dung môi cho ứng dụng nhạy axit.

🔹 Photoresist Filtration Design Advancement
Cải tiến thiết kế lọc photoresist – tăng throughput, giảm defect nhờ công nghệ UPE thế hệ mới.

🔹 Ultra-Clean Nylon Filtration for EUV Underlayer Defect Mitigation
Giải pháp nylon siêu sạch hỗ trợ hiệu suất & yield cho node N2.

🔹 Point-of-Use Membrane Filter Optimization for EUV CAR
Tối ưu bộ lọc tại điểm sử dụng (POU) cho EUV chemically amplified resist – giảm bridging defect cho high-NA lithography.

🔹 EUV Dual Pod EIP Polymer Separation
Giới thiệu NX Pod với polymer pads giúp loại bỏ tiếp xúc kim loại-kim loại, giảm đáng kể phát sinh particle.

🎯 Giá trị cốt lõi Entegris mang lại cho ngành bán dẫn

✔ Giảm particle generation
✔ Kiểm soát kim loại vết
✔ Cải thiện defect density
✔ Tăng yield sản xuất EUV
✔ Hỗ trợ các node tiên tiến (N2, High-NA)

🔗 Đăng ký tham dự tại đây

👉 https://entegris.info/3NMIAbU

Filterfine Việt Nam – Nhà phân phối chính hãng Entegris tại Việt Nam

Filterfine Việt Nam cung cấp trọn bộ giải pháp Entegris cho ngành bán dẫn:

✅ Filtration & Purification cho hóa chất – photoresist – slurry
✅ Pod & contamination control solutions
✅ Tư vấn ứng dụng EUV
✅ Hỗ trợ kỹ thuật – validation – triển khai tại nhà máy

📩 Liên hệ Filterfine Việt Nam để nhận tài liệu kỹ thuật chi tiết hoặc tư vấn giải pháp phù hợp cho fab của bạn.