Van khí siêu tinh khiết cho bán dẫn – YẾU TỐ QUYẾT ĐỊNH TỶ LỆ XUẤT XƯỞNG TRONG NHÀ MÁY FAB

1. Vì sao van khí siêu tinh khiết là “xương sống” của hệ thống Fab?

Trong sản xuất bán dẫn, khí siêu tinh khiết (UHP gases) như H₂, N₂, SiH₄, NH₃ đóng vai trò cốt lõi trong các quy trình lithography, CVD, etching và deposition. Chỉ một sai lệch nhỏ về độ sạch hoặc rò rỉ vi mô cũng có thể làm giảm tỷ lệ xuất xưởng (yield rate).

Đó là lý do van khí siêu tinh khiết cho bán dẫn phải đạt các tiêu chuẩn:

• Bề mặt electropolished Ra cực thấp
• Helium leak test nghiêm ngặt
• Dead space tối thiểu
• Kiểm soát outgassing ở cấp độ phân tử

Các dòng van của KITZ SCT Corporation được phát triển chuyên biệt cho môi trường UHP, đáp ứng yêu cầu của các nhà máy Fab hiện đại.

2. Các dòng van khí siêu tinh khiết chủ lực

2.1 Diaphragm Valve (Van màng UHP)

Được sử dụng rộng rãi trong hệ thống BSGS/GC:

• Cấu trúc màng kim loại chống rò rỉ
• Thiết kế tối ưu dòng chảy
• Tuổi thọ cycle cao

2.2 Bellows Valve

• Cơ chế kín kép
• Phù hợp khí độc & ăn mòn mạnh
• Giảm nguy cơ phát thải nguy hiểm

2.3 Check Valve

• Ngăn dòng chảy ngược
• Tránh nhiễm chéo khí specialty gases

3. Tác động trực tiếp đến tỷ lệ xuất xưởng

Khi van khí không đạt chuẩn:

• Hạt bụi sinh ra từ bề mặt kém xử lý
• Outgassing gây ô nhiễm wafer
• Rò rỉ khí làm mất ổn định áp suất

Ngược lại, khi tích hợp van UHP chuẩn Super Clean:

✔ Ổn định plasma
✔ Giảm wafer scrap
✔ Tăng uptime dây chuyền
✔ Giảm chi phí bảo trì

4. Ứng dụng tại thị trường Việt Nam

Làn sóng FDI bán dẫn tại Việt Nam đòi hỏi hệ thống khí siêu sạch đạt chuẩn quốc tế. Filterfine Việt Nam là đơn vị cung cấp và hỗ trợ kỹ thuật tại chỗ:

• Tư vấn chọn van theo Cv
• Hỗ trợ bản vẽ CAD
• Tích hợp hệ thống khí trung tâm

👉 Liên hệ đội ngũ kỹ thuật để được tư vấn sizing phù hợp.