BỘ LỌC KHÍ GateKeeper® GPU

Liên hệ
Categories: , , ,

Bộ Lọc Khí GateKeeper® GPU

Giới thiệu sản phẩm

Bộ lọc khí GateKeeper® GPU là dòng sản phẩm lọc khí cao cấp của Entegris, được thiết kế để loại bỏ tạp chất đến mức ppt (parts per trillion), đảm bảo độ tinh khiết tối đa cho các quy trình vi điện tử. Với khả năng tương thích với nhiều loại khí, bao gồm cả khí ăn mòn như Cl₂, HBr, HCl, CF₄, SO₂ và SF₆, GateKeeper® GPU là lựa chọn lý tưởng cho các ứng dụng yêu cầu độ tinh khiết cao.

Thông số kỹ thuật

Model Lưu lượng tối đa Loại khí phù hợp Tạp chất loại bỏ (ppt) Tái sinh Nhiệt độ hoạt động Áp suất vận hành tối đa Vật liệu vỏ ngoài
GPU HX 1000 slpm H₂, D₂, N₂, Ar, He, Ne, Kr, Xe, H₂/N₂ H₂O, O₂, CO, CO₂ <100 Có 0–65°C 1.2 MPa (12 bar) Thép không gỉ 316L
GPU IX 1000 slpm N₂, Ar, He, Kr, Ne, Xe, CF₄, CH₄, C₂H₆, C₃H₈, C₄H₁₀ H₂O, O₂, CO, CO₂, H₂ <100; Hợp chất lưu huỳnh <1 ppb Có 0–65°C 1.2 MPa (12 bar) Thép không gỉ 316L
GPU YX 1000 slpm NH₃, C₂H₄, GeH₄, CSiH₆, C₂H₇N, C₃H₆, SF₆, H₂/SiH₄ H₂O, O₂, CO₂, Hợp chất hữu cơ >C₄, Kim loại <1 ppb Có 0–65°C 1.2 MPa (12 bar) Thép không gỉ 316L
GPU CX 1000 slpm HCl, Cl₂ Hợp chất hữu cơ, Kim loại, H₂O <15 ppb Không 0–65°C 1.2 MPa (12 bar) Thép không gỉ 316L
GPU CO 1000 slpm CO H₂O, O₂, CO₂ <1 ppb Không 0–65°C 1.2 MPa (12 bar) Thép không gỉ 316L

Tính năng nổi bật

  • Độ tinh khiết cực cao: Loại bỏ tạp chất đến mức ppt, đảm bảo chất lượng khí đầu ra tối ưu.

  • Tương thích đa dạng khí: Phù hợp với nhiều loại khí, bao gồm cả khí ăn mòn và khí hiếm.

  • Thiết kế bền bỉ: Vỏ ngoài bằng thép không gỉ 316L, chịu được áp suất và nhiệt độ cao.

  • Vận hành đơn giản: Hoạt động ở nhiệt độ môi trường, không cần nguồn nhiệt hoặc điện.

  • Tái sinh: Một số model có khả năng tái sinh, giảm chi phí vận hành và tác động môi trường.

Lợi ích khi sử dụng

  • Nâng cao hiệu suất quy trình: Đảm bảo độ tinh khiết khí, giảm thiểu nguy cơ nhiễm bẩn.

  • Tiết kiệm chi phí: Tuổi thọ dài và khả năng tái sinh giúp giảm chi phí bảo trì và thay thế.

  • An toàn và linh hoạt: Thiết kế cho phép lắp đặt theo chiều ngang hoặc dọc, phù hợp với nhiều không gian.

Ứng dụng

  • Sản xuất bán dẫn: Photolithography, epitaxy, dry etch, wafer growing, deposition.

  • Lưu trữ dữ liệu: Đảm bảo môi trường khí sạch cho các thiết bị lưu trữ.

  • Màn hình phẳng và LED: Cung cấp khí tinh khiết cho quy trình sản xuất.

  • Năng lượng mặt trời: Hỗ trợ các quy trình yêu cầu khí sạch trong sản xuất pin mặt trời.

 

Liên hệ ngay để được tư vấn chi tiết và nhận ưu đãi !
https://filterfinevn.com/lien-he/

Link tham khảo: https://www.entegris.com/shop/en/USD/products/gas-filtration-and-purification/gas-purifiers/GateKeeper-GPU-Gas-Purifiers/p/GateKeeperGPUGasPurifiers?industry=

Reviews

There are no reviews yet.

Only logged in customers who have purchased this product may leave a review.

Sản phẩm Liên quan

Related products