CẬP NHẬT NGAY XU HƯỚNG CÔNG NGHỆ AOP THẾ HỆ MỚI CỦA KITZ SCT

Khi “độ sạch” không còn chỉ là bài toán lọc nước

Trong ngành công nghiệp điện tử – bán dẫn hiện đại, hệ thống nước siêu thuần (UPW – Ultra Pure Water) không đơn thuần chỉ đóng vai trò phụ trợ, mà đã trở thành một phần trực tiếp của quy trình sản xuất.

Mỗi công đoạn:

• Công đoạn rửa siêu âm (ultrasonic cleaning), rửa khí (air washer) các sản phẩm;
• Công đoạn rửa sau quá trình mạ nickel/đồng/vàng điện phân;
• Hệ thống xử lý nước siêu tinh khiết (ultra-pure water system);
• Hệ thống xử lý nước thải nhuộm nhóm oxit hoặc chứa xyanua…

đều yêu cầu nguồn nước có độ tinh khiết gần như tuyệt đối. Điều đáng chú ý là, khi công nghệ bán dẫn tiến tới kích thước nano ngày càng nhỏ hơn, mức độ nhạy cảm với:

• TOC (Total Organic Carbon – Tổng lượng cacbon hữu cơ) trong nước siêu tinh khiết (DI Water hay UPW)
• Vi sinh vật
• Biofilm (màng sinh học)
• Ô nhiễm ion (Ionic contamination)
• Hạt siêu nhỏ (Submicron particle)

cũng tăng lên theo cấp số nhân. Một lượng nhỏ chất hữu cơ hoặc vi sinh tích tụ trong hệ thống DI Water hoàn toàn có thể gây:

• Tăng tỷ lệ lỗi sản phẩm
• Tắc nghẽn lọc
• Giảm tuổi thọ màng RO
• Downtime ngoài kế hoạch

Và đây cũng là lý do nhiều nhà máy đang dần nhận ra rằng: “UV truyền thống hoặc Ozone độc lập không còn đủ để kiểm soát toàn diện hệ thống nước siêu sạch hiện đại.”

Công nghệ AOP thế hệ mới từ KITZ SCT

Để giải quyết tận gốc vấn đề, KITZ SCT phát triển hệ thống PURECULASER dựa trên công nghệ AOP (Advanced Oxidation Process).

Khác với phương pháp khử trùng truyền thống, PURECULASER không chỉ “diệt khuẩn”, mà tập trung công nghệ xử lý các vấn đề các tạp nhiễm phát sinh trong quá trình phân hủy hữu cơ:

• Quá trình oxy hóa tăng tốc (tích hợp Ozone/Integrating Ozone): Đây là phương pháp oxy hóa và phân hủy mạnh mẽ. Các chất hữu cơ có trong nước bằng cách tạo ra các gốc hydroxyl (gốc OH), là loại mạnh nhất trong số các loại oxy phản ứng.
• Tia cực tím (UV light): Với bước sóng 254 nm, tia UV phá hủy cấu trúc DNA của vi khuẩn và kích hoạt phản ứng phân hủy chất hữu cơ
• Xúc tác quang (Photocatalyst): Dưới tác động của tia UV, bề mặt chất xúc tác tạo ra các gốc OH trực tiếp từ nước.

Gốc Radical (OH) – “kẻ huỷ diệt” vi sinh ở cấp độ phân tử

Sự kết hợp của các công nghệ trên và tích hợp trên cùng một hệ thống AOP (Advanced Oxidation Process), tạo ra lượng lớn Hydroxyl Radical (OH). Đây là tác nhân oxy hóa mạnh nhất trong nhóm Reactive Oxygen Species mang đến khả năng oxy hoá mạnh gấp 20 lần Clo, gấp 5 lần Ozone đơn lẻ giúp:

✔️ Phân hủy chất hữu cơ khó xử lý

✔️ Kiểm soát vi sinh liên tục

✔️ Nâng cao độ ổn định hệ thống nước siêu sạch

Điểm đặc biệt của OH Radical

• Điện thế oxy hóa lên tới 2.81V
• Mạnh gấp ~20 lần Clo
• Mạnh gấp ~5 lần Ozone thông thường

Quan trọng hơn: OH Radical phản ứng cực nhanh và gần như không để lại dư lượng hoá chất trong nước.

Kết luận

Trong bối cảnh ngành Semiconductor Fab ngày càng yêu cầu tiêu chuẩn kiểm soát khắt khe hơn, bài toán xử lý nước không còn chỉ xoay quanh “lọc sạch”, mà đã chuyển sang:

• Kiểm soát hữu cơ
• Kiểm soát vi sinh
• Ổn định TOC

Đây chính là lý do công nghệ AOP đang trở thành xu hướng mới trong các hệ thống UPW hiện đại.