Bộ Lọc Khí Wafergard® MAX HT In-line

Giới thiệu sản phẩm

Bộ lọc khí Wafergard® MAX HT In-line là bộ lọc khí hiệu suất cao do Entegris phát triển, chuyên dụng cho các ứng dụng khí siêu tinh khiết ở nhiệt độ cao như TEOS và high-k trong quy trình CVD. Với thiết kế nhỏ gọn, khả năng chịu nhiệt lên đến 200°C và hiệu suất lọc hạt vượt trội, sản phẩm này là lựa chọn lý tưởng cho các hệ thống xử lý khí hiện đại trong ngành bán dẫn và công nghiệp điện tử.

Thông số kỹ thuật

Tính năng nổi bật

• Hiệu suất lọc siêu hạt: Loại bỏ ≥99.9999999% hạt ≥0.0015 µm ở 25°C, đảm bảo khí đầu ra siêu sạch.

• Chịu nhiệt độ cao: Hoạt động ổn định ở nhiệt độ lên đến 200°C, phù hợp với các ứng dụng TEOS và high-k.

• Thiết kế nhỏ gọn: Chiều dài 127 mm hoặc 148 mm, dễ dàng tích hợp vào các hệ thống hiện có.

• Khởi động nhanh: Quá trình xử lý nhiệt đặc biệt giúp giảm thời gian khởi động hệ thống khí.

• Áp suất chênh lệch thấp: Giúp duy trì dòng khí ổn định và cải thiện hiệu suất truyền tải vật liệu.

Lợi ích khi sử dụng

• Đảm bảo độ tinh khiết khí: Giảm thiểu nguy cơ nhiễm bẩn trong quy trình sản xuất.

• Tăng hiệu suất hệ thống: Giảm thời gian khởi động và duy trì dòng khí ổn định.

• Tiết kiệm chi phí bảo trì: Tuổi thọ cao và hiệu suất ổn định giảm nhu cầu thay thế thường xuyên.

• Tương thích cao: Phù hợp với nhiều loại khí và hệ thống kết nối tiêu chuẩn.

Ứng dụng

• Lọc điểm sử dụng trong thiết bị CVD: Đảm bảo khí siêu tinh khiết cho quy trình lắng đọng hóa học hơi.

• Ứng dụng nhiệt độ cao: Phù hợp với các quy trình sử dụng TEOS, high-k và khí N₂ nóng.

• Ngành bán dẫn và điện tử: Đáp ứng yêu cầu khắt khe về độ sạch và ổn định trong sản xuất vi mạch.

Liên hệ ngay để được tư vấn chi tiết và nhận ưu đãi !
https://filterfinevn.com/lien-he/

Link tham khảo: https://www.entegris.com/shop/en/USD/products/gas-filtration-and-purification/gas-filters/in-line-ptfe-gas-filters/Wafergard-MAX-HT-In-line-Gas-Filters/p/WafergardMAXHTInlineGasFilters