Kalrez® 7080 – GIẢI PHÁP LÀM KÍN HIỆU SUẤT CAO CHO QUY TRÌNH BÁN DẪN NHIỆT ĐỘ LÊN ĐẾN 330°C

Các bộ phận perfluoroelastomer Kalrez® 7080 được thiết kế cho các quy trình sản xuất chất bán dẫn ở nhiệt độ cao, giúp duy trì tính nhất quán của quy trình, cải thiện độ tin cậy của thiết bị và hỗ trợ năng suất cao hơn.

Trong sản xuất bán dẫn, các quy trình nhiệt ngày càng được đẩy lên điều kiện vận hành khắt khe hơn. Khi nhiệt độ tăng cao, vật liệu làm kín không chỉ phải duy trì khả năng sealing mà còn cần kiểm soát outgassing, nhiễm kim loại và độ ổn định vật liệu để hạn chế tác động đến quá trình sản xuất và chất lượng wafer.

Đáp ứng yêu cầu đó, Qnity Electronics vừa giới thiệu Kalrez® 7080 perfluoroelastomer parts – giải pháp làm kín mới được thiết kế cho các quy trình sản xuất bán dẫn vận hành ở nhiệt độ lên đến 330°C.

Theo Qnity, Kalrez® 7080 kết hợp khả năng chịu nhiệt cao với độ thoát khí cực thấp (ultra-low outgassing) và mức nhiễm kim loại cực thấp, hướng tới những ứng dụng nhiệt ngày càng khắt khe trong ngành bán dẫn.

Kalrez® 7080 là gì?

Kalrez® 7080 là vật liệu làm kín perfluoroelastomer (FFKM) mới thuộc danh mục giải pháp sealing của Qnity dành cho sản xuất bán dẫn.

So với các yêu cầu thông thường đối với vật liệu làm kín, những quy trình bán dẫn tiên tiến đòi hỏi seal phải đồng thời đáp ứng nhiều yếu tố:

• Hoạt động ổn định ở nhiệt độ cao.
• Duy trì tính toàn vẹn của mối làm kín trong điều kiện nhiệt khắc nghiệt.
• Hạn chế phát sinh khí từ vật liệu (outgassing).
• Giảm nguy cơ nhiễm kim loại vào môi trường quy trình.
• Hỗ trợ duy trì tính ổn định của quá trình và độ tin cậy của thiết bị.

Kalrez® 7080 được phát triển nhằm đáp ứng nhóm yêu cầu này, đặc biệt đối với các quy trình nhiệt trong sản xuất semiconductor.

Khả năng chịu nhiệt lên đến 330°C

Một trong những điểm nổi bật của Kalrez® 7080 là khả năng được thiết kế cho các ứng dụng có nhiệt độ vận hành lên đến 330°C.

Qnity cho biết trong thử nghiệm đánh giá lão hóa nhiệt nội bộ, các chi tiết Kalrez® 7080 được tiếp xúc với không khí ở nhiệt độ lên đến 325°C trong 4 tuần, tương đương 672 giờ và cho thấy độ ổn định nhiệt cao.

Khả năng duy trì tính toàn vẹn của seal trong điều kiện nhiệt độ cao có ý nghĩa quan trọng đối với những quy trình mà sự suy giảm của vật liệu làm kín có thể ảnh hưởng đến độ ổn định của quá trình, độ tin cậy thiết bị và năng suất wafer.

Lưu ý: Mức nhiệt 330°C là điều kiện ứng dụng được Qnity công bố cho Kalrez® 7080. Hiệu suất thực tế của seal còn phụ thuộc vào thiết kế seal, cấu hình thiết bị và điều kiện vận hành cụ thể.

Độ thoát khí cực thấp và nhiễm kim loại thấp

Trong môi trường sản xuất bán dẫn, việc kiểm soát nhiễm bẩn là yếu tố đặc biệt quan trọng.

Một vật liệu làm kín không chỉ cần chống rò rỉ mà còn phải hạn chế tối đa khả năng vật liệu ảnh hưởng đến môi trường quy trình.

Kalrez® 7080 được Qnity giới thiệu với hai đặc tính đáng chú ý:

Ultra-low outgassing

Độ thoát khí cực thấp giúp giảm lượng khí phát sinh từ vật liệu làm kín trong điều kiện nhiệt độ cao, hỗ trợ yêu cầu kiểm soát môi trường trong các quy trình bán dẫn nhạy cảm.

Extremely low metallic contamination

Mức nhiễm kim loại cực thấp giúp đáp ứng tốt hơn các yêu cầu kiểm soát tạp nhiễm trong những quy trình sản xuất semiconductor có yêu cầu cao về độ tinh khiết.

Sự kết hợp giữa thermal resistance – ultra-low outgassing – low metallic contamination giúp Kalrez® 7080 hướng đến nhóm ứng dụng mà vật liệu làm kín phải hoạt động ổn định nhưng đồng thời hạn chế tối đa tác động đến quy trình.

Kalrez® 7080 phù hợp với những quy trình nào?

Qnity cho biết Kalrez® 7080 được thiết kế cho một số quy trình nhiệt quan trọng trong sản xuất bán dẫn, bao gồm:

• Diffusion – Khuếch tán
• Oxidation – Oxy hóa
• Thermal ALD – Lắng đọng lớp nguyên tử nhiệt
• Metal CVD – Lắng đọng hơi hóa học kim loại
• LPCVD – Lắng đọng hơi hóa học áp suất thấp

Đây đều là những quy trình mà nhiệt độ vận hành và yêu cầu kiểm soát vật liệu làm kín có thể trở thành yếu tố quan trọng đối với độ ổn định của thiết bị và quy trình.

Vì sao lựa chọn vật liệu làm kín lại quan trọng trong sản xuất bán dẫn?

Trong các hệ thống thiết bị semiconductor, seal có thể xuất hiện tại nhiều vị trí tiếp xúc hoặc cô lập các vùng quy trình.

Một seal không phù hợp có thể dẫn đến các vấn đề như:

Rò rỉ → mất ổn định điều kiện quy trình → tăng thời gian bảo trì → ảnh hưởng đến năng suất và độ tin cậy thiết bị.

Đặc biệt với các quy trình plasma và nhiệt độ cao, vật liệu làm kín còn phải đối mặt với nhiệt, hóa chất, plasma và các điều kiện vận hành lặp lại.

Đó là lý do các dòng Kalrez® perfluoroelastomer được phát triển theo từng nhóm ứng dụng cụ thể. Qnity hiện cung cấp các giải pháp Kalrez® cho nhiều môi trường trong fab, bao gồm plasma process, thermal process, wet process, sub-fab và back-end.

Kalrez® 7080 trong hệ sinh thái sealing của Qnity

Kalrez® 7080 không phải là một sản phẩm tách biệt mà là một phần trong danh mục vật liệu làm kín chuyên dụng của Qnity dành cho semiconductor manufacturing.

Bên cạnh Kalrez® 7080 cho các quy trình nhiệt độ cao, danh mục của Qnity còn bao gồm:

Kalrez® 9400 – được thiết kế cho môi trường plasma khắc nghiệt, tập trung vào khả năng chống plasma, giảm phát sinh hạt và duy trì hiệu suất sealing.

Kalrez® UPHT – vật liệu FFKM ultra-pure, high-temperature dành cho các ứng dụng plasma tiên tiến, với độ thoát khí thấp và khả năng chống chịu plasma.

Kalrez® PF3 – giải pháp kết hợp vật liệu Kalrez® perfluoroelastomer với phần cứng kim loại được gia công chính xác, hướng tới việc đơn giản hóa lắp đặt và cải thiện tính nhất quán của sealing.

Việc lựa chọn đúng grade Kalrez® cần dựa trên nhiệt độ, môi trường hóa chất, plasma, yêu cầu độ tinh khiết, thiết kế seal và điều kiện vận hành thực tế của từng thiết bị.

Filterfine Việt Nam – Giải pháp Kalrez® cho ứng dụng công nghiệp

Với vai trò nhà phân phối Kalrez® tại Việt Nam, Filterfine cung cấp các giải pháp vật liệu làm kín hiệu suất cao cho những ứng dụng yêu cầu khả năng chịu nhiệt, kháng hóa chất và độ tin cậy cao.

Đối với ngành bán dẫn, điện tử và các quy trình công nghệ cao, việc lựa chọn seal không nên chỉ dựa trên kích thước hoặc nhiệt độ làm việc danh nghĩa. Cần đánh giá đồng thời môi trường quy trình, hóa chất tiếp xúc, nhiệt độ, áp suất, yêu cầu độ sạch và thiết kế cụ thể của vị trí làm kín.

Với Kalrez® 7080, Qnity đang mở rộng khả năng đáp ứng của danh mục Kalrez® đối với các quy trình nhiệt có yêu cầu ngày càng cao, đặc biệt ở vùng nhiệt độ trên 300°C.

Liên hệ Filterfine Việt Nam để được tư vấn lựa chọn vật liệu Kalrez® phù hợp với điều kiện vận hành và yêu cầu kỹ thuật của ứng dụng.