BỘ LỌC KHÍ GateKeeper® GPU – GIẢI PHÁP LÀM SẠCH KHÍ CÔNG NGHỆ CAO TỪ ENTEGRIS

28/11/2025
  -  
0 lượt xem
Chia sẻ bài viết

1. Giới thiệu về GateKeeper® GPU

Bộ lọc khí GateKeeper® GPU (Gas Purification Unit) của Entegris là dòng bộ lọc tinh khiết cao (high-purity) được thiết kế đặc biệt để loại bỏ tạp chất trong các hệ thống khí sử dụng trong sản xuất công nghiệp — đặc biệt là trong ngành bán dẫn, vi điện tử, LED, và các ứng dụng vi mô khác.

GPU của Entegris giúp đảm bảo độ tinh khiết khí cực cao, tăng sự ổn định quy trình, kéo dài tuổi thọ thiết bị, đồng thời giảm chi phí vận hành nhờ khả năng tái sử dụng và thiết kế hiệu suất cao.

2. Tính năng nổi bật của GateKeeper® GPU

  • Độ tinh khiết cực cao (ppt hoặc ppb): lọc tạp chất kim loại dễ bay hơi, độ ẩm, hạt bụi … để đạt mức tinh khiết rất thấp.
  • Tương thích nhiều loại khí: hỗ trợ cả khí ăn mòn như Cl₂, HBr, HCl, CF₄, SO₂, SF₆ …
  • Lưu lượng cao – áp suất thấp (low pressure drop): thiết kế tối ưu dòng khí để giảm tổn thất áp khi đi qua bộ lọc.
  • Vật liệu cao cấp, bền bỉ: vỏ làm từ inox 316L, khả năng chịu ăn mòn cao, độ kín tốt.
  • Không cần nhiệt: hoạt động ở nhiệt độ môi trường (ambient temperature), không yêu cầu thêm nguồn nhiệt hoặc năng lượng để lọc.
  • Tái sử dụng (“regenerable”): nhiều model GPU của Entegris có thể tái sinh vật liệu hấp phụ, giảm chi phí thải, thân thiện hơn với môi trường.
  • Chứng nhận & an toàn: CE theo “Pressure Equipment Directive (PED)”, sản xuất tại nhà máy ISO 9001.
  • Lắp đặt linh hoạt: không nhạy hướng — có thể lắp ngang hoặc dọc, dễ bố trí trong hệ thống đường ống công nghiệp.

3. Các dòng Media (vật liệu lọc) phổ biến của GateKeeper® GPU

Entegris cung cấp nhiều loại media (vật liệu hấp phụ) cho GPU, phù hợp với từng loại khí và nhu cầu xử lý tạp chất khác nhau:

Model Media Khí phù hợp / Ứng dụng chính Hiệu suất & Tính đặc trưng
AP Media Hydride (AsH₃, PH₃) Loại ẩm, kim loại với độ tinh khiết < 1 ppbV.
CX Media HCl, Cl₂ Khả năng giữ tạp chất kim loại nhẹ (Cr, Ni, …), tạp chất hữu cơ.
BX Media HBr Loại sạch ẩm (< 1 ppbV), màng lọc Wafergard® Nickel rất mịn.
FX Media Khí HF Loại bỏ ẩm, kim loại ở mức ppb; thiết kế áp suất cao, độ bền vật liệu cao.
LG Media Khí cao tinh khiết như N₂, Ar, O₂, H₂, He, … Loại acid/base dễ bay hơi, hợp chất hữu cơ, kim loại; đạt độ tinh khiết rất cao (ppt cấp).
WY Media Đa khí dùng trong vi điện tử Hấp phụ hiệu quả, tuổi thọ lâu, áp suất thấp.

4. Lợi ích khi sử dụng GateKeeper® GPU trong môi trường công nghiệp

Tăng năng suất & chất lượng sản phẩm

  • Độ tinh khiết khí cao giúp giảm các hạt kim loại và tạp chất gây lỗi trong thiết bị sản xuất vi mạch.
  • Đảm bảo tính nhất quán trong quá trình xử lý khí, cải thiện yield sản xuất.

Giảm chi phí vận hành & bảo trì

  • Thiết kế tái sinh (“regenerable”) giúp tiết kiệm chi phí thay thế bộ lọc thường xuyên.
  • Không cần nhiệt để hoạt động → tiết kiệm năng lượng so với các hệ lọc phải gia nhiệt.

Tuổi thọ cao, độ bền vững

  • Vật liệu lọc cao cấp (inox, media hấp phụ đặc biệt) cho khả năng làm việc lâu dài và ổn định.
  • Bố trí linh hoạt, lắp đặt dễ dàng trong nhiều thiết kế hệ thống nhờ khả năng hoạt động ở mọi hướng.

An toàn & chứng nhận

  • CE theo PED đảm bảo đáp ứng các tiêu chí an toàn áp suất.
  • Kiểm leak rất cao (theo datasheet) → giảm rủi ro rò khí độc hoặc ăn mòn.

5. Ứng dụng thực tế của GateKeeper® GPU

  • Sản xuất bán dẫn (semiconductor): sử dụng trong hệ thống cung cấp gas ăn mòn hoặc gas cao tinh khiết để đảm bảo quy trình như etch (khắc), CVD (lắng đọng).
  • Công nghiệp LED: yêu cầu khí rất sạch để tránh tạp chất ảnh hưởng đến chất lượng đèn LED.
  • Lưu trữ dữ liệu & thiết bị quang học: các quy trình cần khí đáng tin cậy, không có kim loại ô nhiễm.
  • Cơ sở nghiên cứu & sản xuất công nghệ cao: ứng dụng trong mọi môi trường yêu cầu khí sạch và ổn định.

6. Vì sao chọn Filterfine Việt Nam làm đối tác phân phối GateKeeper® GPU

  • Đại lý chính hãng: Filterfine Việt Nam là nhà phân phối Entegris, chúng tôi đảm bảo sản phẩm chính hãng, chất lượng cao.
  • Tư vấn kỹ thuật chuyên sâu: Đội ngũ kỹ sư có kinh nghiệm về hệ thống khí, vi ô nhiễm khí (microcontamination), giúp lựa chọn model GPU và media phù hợp theo dòng chảy, áp suất và loại khí.
  • Hỗ trợ dịch vụ sau bán hàng: Bao gồm bảo trì, tái sinh purifier, kiểm tra rò rỉ, thay thế phần tử lọc khi cần.
  • Tài liệu đầy đủ: Cung cấp datasheet, chứng chỉ CO/CQ, hướng dẫn an toàn để hỗ trợ kiểm định, quản lý chất lượng trong môi trường sản xuất.

7. Kết luận & Kêu gọi hành động

Bộ lọc khí GateKeeper® GPU của Entegris là giải pháp tối ưu cho các hệ thống khí yêu cầu độ tinh khiết cực cao, độ ổn định lâu dài và chi phí vận hành hiệu quả. Với khả năng loại bỏ tạp chất kim loại, độ ẩm và hạt bụi, GPU giúp bảo vệ các quy trình sản xuất nhạy cảm như vi điện tử, LED hay thiết bị công nghệ cao.

👉 Liên hệ Filterfine Việt Nam ngay hôm nay để được tư vấn lựa chọn model GPU và vật liệu lọc phù hợp, nhận báo giá chi tiết và hỗ trợ kỹ thuật tận nơi.

Tin liên quan