VAN CÁCH LY CHÂN KHÔNG

MKS là công ty đi đầu trong nghiên cứu, phát triển và cung cấp các dòng van cách ly chân không có độ tin cậy cao. Các van cách ly chân không của chúng tôi bao gồm van kín ống thổi, van bi, van hai tầng khởi động mềm và van ngắt an toàn. Chúng có sẵn trong một loạt các cấu hình bao gồm bộ truyền động bằng tay, khí nén và điện từ.

Các giải pháp van cách ly được thiết kế tốt, đáng tin cậy đã giải quyết một loạt các ứng dụng chân không và bán dẫn. Một dải sản phẩm mở rộng các giải pháp van cách ly bao gồm 17 loại van khác nhau, có kích thước khác nhau, từ phụ kiện ¼ ”đến 10” (NW250) ở cả cấu hình dạng góc và dạng thẳng.

a. Ưu điểm nổi bật:

• Đáp ứng các ứng dụng đa dạng

+ Máy đo và cách ly buồng

+ Phân lập chẩn đoán

+ Khả năng tạo chu kỳ cao cho các buồng khóa tải

+ Van chống ăn mòn được thiết kế đặc biệt cho các quá trình xâm thực

+ Vận hành nhanh chóng

• Lựa chọn rộng rãi các tùy chọn và cấu hình

+ Vận hành bằng khí nén, thủ công và điện từ

+ Kiểm soát độ dẫn có thể điều chỉnh bằng cách sử dụng các lỗ và thiết bị đo sáng có thể hoán đổi cho nhau

+ Tùy chỉnh để đáp ứng nhu cầu và các ứng dụng cụ thể  Khi van bị rò rỉ có thể dẫn đến việc phải ngừng sản xuất và phát sinh các chi phí lớn trong thời gian ngừng hoạt động.

MKS cung cấp kèm theo các bộ kít van cách ly để hỗ trợ thay thế nhanh chóng, khách hàng có thể tự phục vụ tại chỗ nhằm giảm thời gian ngừng sửa chữa và bảo trì. Van cách ly MKS được thiết kế để đo hiệu suất cao hoặc cách ly hệ thống. Chúng thường được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn và màn hình phẳng, nghiên cứu vật lý năng lượng cao và màng phim mỏng.

Van cách ly MKS được thiết kế để có tuổi thọ và độ tin cậy cao; tuy nhiên, tất cả các van có thể bị rò rỉ theo thời gian do các phớt chặn (gioăng đệm) và / hoặc các vết nứt to dần trong ống thổi bị mòn. Ngoài ra, ống thổi và tuổi thọ của phớt có thể bị rút ngắn trong quá trình ăn mòn hoặc lắng đọng cao. Trong những quy trình khắc nghiệt này, một bộ kít thay thế cho phép van được kiểm tra theo lịch trình bảo trì dự phòng rủi ro được xác định trước, giảm thời gian chờ đợi dịch vụ sửa chữa, thay thế.

Bộ kít có chứa các bộ phận bên trong van được lắp ráp hoàn chỉnh, bao gồm cả gioăng đệm và ống thổi, hoặc gioăng đệm. Với việc loại bỏ một vài bu lông, van có thể được sửa chữa, giảm thời gian và chi phí tháo và thay thế bộ phận khỏi dây chuyền và vận chuyển trở lại MKS để sửa chữa hoặc thay thế toàn bộ. Không có công cụ hoặc kỹ năng đặc biệt nào được yêu cầu. Bộ kít chứa các phụ kiện chính hãng MKS nguyên bản, đảm bảo khớp hoàn hảo với van. Giữ bộ kít trong kho giúp Quý khách hàng dễ dàng bảo trì theo lịch trình thường xuyên và giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động do rò rỉ van bất ngờ.

Có nhiều sản phẩm van cách ly phù hợp với các ứng dụng khác nhau như đường dẫn dưới đây:

https://www.mks.com/c/vacuum-isolation-valves

Bộ kít van cách ly bao gồm:

+ Bộ phụ kiện thay thế bên trong: Bao gồm các bộ phận bên trong để thay thế, lắp ráp hoàn chỉnh, với bộ phận gioặng đệm và ống thổi, cho một van cụ thể.

+ Bộ gioăng đệm: Bao gồm các gioăng phớt có nhiều khả năng bị mòn sau quá trình sử dụng.

+ Tính năng bổ sung: Có sẵn vật liệu đệm thay thế cho Viton®.

Tham khảo liên kết:https://www.mks.com/mam/celum/celum_assets/mks/resources/IsolationValveSparesAndKits-DS.pdf?2