MÁY PHÂN TÍCH KHÍ

Máy phân tích khí MKS sử dụng Phép đo khối phổ, Hồng ngoại biến đổi Fourier (FTIR), Hồng ngoại chống nhiễu (NDIR) hoặc Quang phổ bộ lọc có thể điều chỉnh để phân tích thành phần khí
Một loạt các giải pháp dựa trên khối phổ mạnh mẽ, linh hoạt và đã được chứng minh của chúng tôi mang đến một cấp độ hiểu biết và kiểm soát mới trong các ứng dụng liên quan đến chân không và khí cho khách hàng.
Dụng cụ phân tích khí FTIR Spectroscopy của MKS Instruments có khả năng độ nhạy từ ppb đến ppm đối với nhiều loại khí trong nhiều ứng dụng phân tích khí khác nhau, chẳng hạn như phát hiện khí độc, đo khí thải ô tô và giám sát lượng khí thải, quy trình, không khí xung quanh, độ tinh khiết và hiệu suất khử xúc tác chọn lọc
Cảm biến điểm cuối Process Sense là một cảm biến SiF4 nhỏ, chi phí thấp được thiết kế đặc biệt để phát hiện Điểm cuối làm sạch buồng plasma từ xa cho các buồng lắng đọng CVD dựa trên silicon.

Link: https://www.mksinst.com/c/optical-gas-analyzers