BƠM VI ĐIỆN TỬ ( ỨNG DỤNG DUNG MÔI)

Máy bơm chống tĩnh điện Levitronix® BPS được thiết kế để xử lý siêu tinh khiết các dung môi tinh vi trong các ứng dụng ướt vi điện tử. Dựa trên lực bay từ hoạt động, bánh công tác của máy bơm được treo và điều khiển bởi từ trường của động cơ. Khe hở rộng đảm bảo không có tiếp xúc cơ học giữa các bộ phận chuyển động và do đó không bị mài mòn. Không có vòng bi nào bị mòn hoặc vòng đệm bị hỏng. Vật liệu ướt dẫn điện có sẵn bằng thép không gỉ hoặc PTFE với phụ gia sợi carbon.
**Máy bơm tinh khiết nhất
Được chứng minh bằng kinh nghiệm trong ngành
Do không có khớp nối cơ học giữa bánh công tác và vỏ đầu bơm nên không có hiện tượng mài mòn và do đó hầu như không tạo ra hạt.
***Ô nhiễm kim loại rất thấp
Thấp hơn đáng kể so với máy bơm hoạt động bằng không khí
Diện tích bề mặt ướt của máy bơm Levitronix® nhỏ hơn vài lần so với diện tích của máy bơm khí nén có công suất thủy lực tương đương