TINH KHIẾT HOÁ CHẤT VÀ KHỞI ĐỘNG HỆ THỐNG NHANH HƠN VỚI BỘ LỌC QUANG HOÁ PHỤ TRỢ THẾ HỆ MỚI

Trong các nhà sản xuất máy sản xuất bán dẫn hiện đại, chỉ một loại chất kim loại rất nhỏ hoặc hữu cơ trong các chất hóa học quang hoá phụ trợ như PGME/PGMEA, TMAH và nBA cũng có thể ảnh hưởng trực tiếp đến năng suất wafer, hiệu ứng linh hoạt và độ ổn định của thiết bị.

Để hỗ trợ đảm bảo hóa chất siêu tinh khiết được cung cấp cho các công đoạn quang khắc, hệ thống phân phối hóa chất trung tâm (Central Delivery Systems – CDS) và bộ lọc quang hoá phụ trợ đóng vai trò then chốt trong công việc loại bỏ chất tạp chất.

Tuy nhiên, nhiều hệ thống truyền tải bộ lọc vẫn còn hạn chế trong việc kiểm soát các công cụ có thể trích xuất và kéo dài thời gian khởi động (khởi động), gây ảnh hưởng đến hiệu suất vận hành toàn hệ thống.

Giải pháp bộ lọc quang hoá phụ trợ thế hệ mới – Nghiên cứu & Đánh giá

Entegris đã tiến hành nghiên cứu chuyên sâu các bộ lọc quang hoá phụ trợ sử dụng vật liệu UPE (Ultra-High Molecular Weight Polyethylene), được thiết kế riêng cho các ứng dụng CDS trong ngành bán dẫn.

Các hóa chất quang hoá tiêu biểu được đưa vào đánh giá bao gồm:

• PGME/PGMEA (7:3)
• 2.38% TMAH (dung dịch nước)
• nBA

Bốn thiết kế bộ lọc mới đã được thử nghiệm bằng phương pháp ngâm tĩnh và phân tích ICP-MS/GC-FID để định lượng các chất kim loại và hữu cơ có thể chiết xuất. Các bộ lọc bao gồm:

• Microgard™ UPE D01 và Nylon N01 cho PGME/PGMEA
• Microgard AT 2 nm Khô cho nBA
• Microgard AT 2 nm Làm ướt trước cho dung dịch TMAH 2,38% (aq)

Mỗi bộ lọc được so sánh với bộ lọc tham chiếu (POR) tương ứng, cho thấy sự cải thiện đáng kể về lượng kim loại và chất hữu cơ có thể chiết xuất trong các hóa chất quang hóa này.

Kết quả vượt trội trong kiểm soát tạp chất quang hoá

Các bộ lọc hóa chất quang hóa mới được đánh giá POR Giảm lượng kim loại có thể chiết xuất Giảm lượng chất hữu cơ có thể chiết xuất cụ thể như sau:

Quang hoá	Bộ lọc mới được đánh giá	POR	Giảm lượng kim loại có thể chiết xuất	Giảm lượng chất hữu cơ có thể chiết xuất
PGME/PGMEA	UPE D01	UPE	60%	70%
PGME/PGMEA	Nylon N01	Nylon	70%	50%
nBA	Microgard AT 2 nm Dry	PTFE A	50%	40%
2.38% TMAH (aq)	Microgard AT 2 nm Prewet	PTFE B	90%	N/A

Những kết quả này chứng minh rằng bộ lọc quang hoá phụ trợ thế hệ mới không chỉ nâng cao độ tinh khiết hóa chất mà còn rút ngắn thời gian khởi động hệ thống CDS, đặc biệt quan trọng trong các dây chuyền sản xuất bán dẫn công nghệ cao.

Ý nghĩa đối với ngành bán dẫn & ứng dụng lọc công nghiệp

Khi ngành bán dẫn tiến tới các nút công nghệ sub-3 nm, yêu cầu về độ tinh khiết của hóa chất quang hoá ngày càng khắt khe. Việc ứng dụng bộ lọc quang hoá phụ trợ hiệu suất cao giúp:

• Đảm bảo hoá chất sạch trong toàn bộ chuỗi phân phối hóa chất
• Nâng cao hiệu suất và độ tin cậy linh kiện
• Giảm rủi ro nhiễm bẩn trong quá trình sản xuất
• Tối ưu chi phí vận hành hệ thống lọc công nghiệp

Filterfine Việt Nam – giải pháp lọc quang hoá & lọc công nghiệp chuyên sâu

Filterfine Việt Nam cung cấp và tư vấn các giải pháp:

• Bộ lọc quang hoá phụ trợ cho hệ thống CDS
• Giải pháp lọc hoá chất tinh khiết cho ngành bán dẫn, điện tử và công nghệ cao
• Lựa chọn lọc công nghiệp phù hợp theo từng công đoạn sản xuất
• Hỗ trợ kỹ thuật, tối ưu vận hành và kiểm soát chất lượng lọc

📩 Liên hệ Filterfine Việt Nam để được tư vấn giải pháp lọc quang hoá giúp nâng cao hiệu suất sản xuất và đáp ứng tiêu chuẩn bán dẫn tiên tiến.