Phớt DuPont™ Kalrez® 9100

Trong môi trường sản xuất bán dẫn và vi mạch đòi hỏi vật liệu làm kín có khả năng chống chịu plasma vượt trội, giảm thiểu phát sinh hạt và duy trì độ kín ổn định trong thời gian dài.
DuPont™ Kalrez® 9100 được phát triển đặc biệt để đáp ứng những yêu cầu khắt khe đó — mang đến hiệu suất bền bỉ, tuổi thọ kéo dài và độ tinh khiết tuyệt đối.

Đặc tính nổi bật của phớt Kalrez® 9100

• Chống xói mòn và sinh hạt cực thấp trong môi trường plasma chứa oxy và fluorine.

• Khả năng chịu hóa chất khô xuất sắc, đặc biệt trong các quá trình plasma ăn mòn mạnh.

• Ổn định nhiệt vượt trội, hoạt động ổn định ở nhiệt độ lên đến 300°C (572°F).

• Khí thoát ra (outgassing) cực thấp, hàm lượng kim loại vết cực nhỏ.

• Độ đàn hồi và khả năng phục hồi hình dạng cao, hạn chế biến dạng và rò rỉ trong thời gian dài.

Tất cả các sản phẩm phớt Kalrez® 9100 đều được làm sạch và đóng gói siêu tinh khiết, đảm bảo đáp ứng các tiêu chuẩn nghiêm ngặt trong phòng sạch bán dẫn.

Ứng dụng tiêu biểu

• Gioăng phớt cửa buồng PECVD / ALD

• Phớt van cách ly (isolation valve)

• Gioăng phớt cửa slit valve và bonded door

• Gioăng làm kín nắp buồng xử lý

• Phớt van poppet và các ứng dụng chọn lọc khác

Hiệu suất vượt trội – được chứng minh qua thực tế

Các nhà máy sản xuất chip hàng đầu tại Mỹ và châu Âu đã ghi nhận tuổi thọ phớt tăng gấp 2–3 lần khi chuyển sang sử dụng phớt Kalrez® 9100:

• Nhà máy tại Mỹ (Metal Etch/Resist Strip): Chu kỳ bảo trì tăng từ 400 lên 1200 giờ, không xuất hiện nứt gãy hay suy giảm tính năng.

• Nhà máy tại châu Âu (PECVD): Xử lý hơn 54.000 tấm wafer mà không có dấu hiệu ăn mòn hay biến dạng.

• Ứng dụng slit valve door: Chu kỳ hoạt động kéo dài từ 60 lên 180 ngày, duy trì độ kín hoàn hảo, không rò rỉ.

Kalrez® 9100 đã chứng minh khả năng chống plasma và giảm phát sinh hạt vượt trội so với các loại FFKM chứa filler thông thường, nhờ công thức không chứa carbon black hay oxide, giúp giảm thiểu nguy cơ nhiễm bẩn và tăng độ tin cậy cho quy trình sản xuất.

Lợi ích khi chọn phớt Kalrez® 9100

✅ Tăng tuổi thọ phớt gấp 2–3 lần
✅ Giảm thời gian dừng máy và chi phí bảo trì
✅ Giảm nguy cơ nhiễm hạt, nâng cao độ sạch quy trình
✅ Đảm bảo độ kín ổn định trong điều kiện plasma khắc nghiệt

Liên hệ tư vấn phớt Kalrez® 9100

Filterfine Việt Nam – Nhà phân phối chính thức DuPont™ Kalrez® tại Việt Nam.
Chúng tôi cung cấp giải pháp phớt FFKM hiệu suất cao, cùng hỗ trợ kỹ thuật chuyên sâu cho các ứng dụng trong bán dẫn, plasma, và môi trường ăn mòn khắc nghiệt.

Liên hệ Filterfine Việt Nam – Nhà phân phối chính thức các sản phẩm DuPont™ Kalrez® tại Việt Nam để được tư vấn chi tiết:

🌐 Website: https://filterfinevn.com

📞 Hotline: 0961.152.844

📩 Zalo OA: https://zalo.me/3662661132832477703