THIẾT BỊ ĐO NỒNG ĐỘ VAISALA

Chế tạo wafer bán dẫn và vi điện tử là một quá trình đòi hỏi khắt khe và ít có chỗ cho sai sót. Ngành công nghiệp này phụ thuộc vào các thiết bị đo lường và giám sát hiệu suất cao cho các thành phần hóa học chính xác và các điều kiện khí quyển. Chúng tôi cung cấp khúc xạ kế quy trình bán nguyệt để theo dõi nồng độ trong dây chuyền trong quá trình phân phối hóa chất và bùn số lượng lớn, cũng như các quy trình pha trộn, tạo gai và đánh bóng tại điểm sử dụng; cũng như các thiết bị đo độ ẩm, điểm sương, nhiệt độ và áp suất bên trong và xung quanh các công cụ và thiết bị bán dẫn
Khúc xạ kế quá trình Vaisala K-PATENTS® được thiết kế để đo và chỉ ra nồng độ chất lỏng nội tuyến của hầu hết mọi hóa chất hoặc hợp chất.

Chất lượng chip trong quy trình chế tạo chất bán dẫn thường được định nghĩa là việc giảm độ biến thiên xung quanh mục tiêu, hay nói cách khác, mức độ phân bố giữa các giới hạn quy định dưới và trên tốt như thế nào. Quan trọng đối với Chất lượng (CTQ) và sự phù hợp với các yêu cầu của khách hàng cũng đóng một vai trò quan trọng. Sự thay đổi quá cao trong sản xuất nhanh chóng dẫn đến các vấn đề về chất lượng sản phẩm. Để đảm bảo cung cấp ổn định các sản phẩm tốt cho thị trường, cần có các thước đo chất lượng và kiểm soát quy trình kỹ lưỡng. Một phần quan trọng của chất lượng sản phẩm và sản xuất là hóa học. Các nhà máy wafer bán dẫn tiêu thụ hàng tấn hóa chất trong toàn bộ quá trình fab. Khả năng lặp lại và khả năng tái lập của mỗi quy trình là mối quan tâm hàng đầu của fabs, và ngay cả sự sai lệch nhỏ nhất so với thông số kỹ thuật cũng có thể dẫn đến nhiễm bẩn thiết bị đắt tiền và phế liệu wafer