Bộ Lọc Khí Wafergard® II SF Mini/Mini XL In-line

Giới thiệu sản phẩm

Bộ lọc khí Wafergard® II SF Mini/Mini XL In-line là bộ lọc khí siêu tinh khiết, được thiết kế với cấu trúc hoàn toàn bằng thép không gỉ 316L. Sản phẩm này lý tưởng cho các hệ thống khí yêu cầu hiệu suất lọc hạt cao và khả năng chịu nhiệt độ, áp suất lớn, đặc biệt trong ngành bán dẫn và công nghiệp điện tử.

Thông số kỹ thuật

Tính năng nổi bật

• Hiệu suất lọc cao: Loại bỏ hơn 99.9999% (6 LRV) các hạt ≥0.0015 µm tại lưu lượng 30 slm (Mini) và 60 slm (Mini XL).

• Vật liệu chất lượng: Màng lọc và vỏ bọc bằng thép không gỉ 316L, được đánh bóng điện hóa với độ nhám bề mặt ≤5 µin Ra.

• Độ sạch ban đầu vượt trội: Đạt ≤0.03 hạt/lít (≥0.01 µm) sau quá trình làm sạch và nung nhiệt độ cao.

• Khả năng chịu áp suất và nhiệt độ cao: Áp suất vận hành tối đa 16.2 MPa (162 bar) tại 20°C; nhiệt độ vận hành tối đa 400°C với khí trơ.

• Độ rò rỉ thấp: Đạt tiêu chuẩn rò rỉ helium 2 × 10⁻¹⁰ atm-cc/sec.

Lợi ích khi sử dụng

• Bảo vệ thiết bị: Giảm thiểu nguy cơ hư hỏng do hạt bụi, kéo dài tuổi thọ thiết bị.

• Tăng hiệu suất quy trình: Đảm bảo độ tinh khiết khí, giảm thiểu khuyết tật trên wafer, nâng cao năng suất.

• Tiết kiệm không gian: Thiết kế nhỏ gọn, dễ dàng tích hợp vào các hệ thống hiện có.

• Độ tin cậy cao: Hoạt động ổn định trong môi trường nhiệt độ và áp suất cao.

Ứng dụng

• Ngành bán dẫn: Lọc khí siêu tinh khiết trong các quy trình sản xuất vi mạch.

• Công nghiệp điện tử: Sử dụng trong các hệ thống khí yêu cầu độ tinh khiết cao.

• Hệ thống khí công nghiệp: Phù hợp với các ứng dụng khí trơ và khí phản ứng (không sử dụng cho O₃).

Liên hệ ngay để được tư vấn chi tiết và nhận ưu đãi !
https://filterfinevn.com/lien-he/

Link tham khảo: https://www.entegris.com/shop/en/USD/products/gas-filtration-and-purification/gas-filters/in-line-stainless-steel-gas-filters/Wafergard-II-SF-Mini-Mini-XL-In-line-Gas-Filters/p/WafergardIISFMiniInLineGasFilters