Bộ Lọc Khí Wafergard® II 3XP In-line

Giới thiệu sản phẩm

Bộ lọc khí Wafergard® II 3XP In-line là bộ lọc khí siêu tinh khiết, được thiết kế để đáp ứng các yêu cầu khắt khe trong ngành bán dẫn và công nghiệp điện tử. Với khả năng xử lý lưu lượng khí lên đến 500 slpm, sản phẩm này lý tưởng cho các ứng dụng như diffusion, annealing và epitaxy, nơi yêu cầu hiệu suất lọc cao và độ tin cậy tuyệt đối.

Thông số kỹ thuật

Tính năng nổi bật

• Hiệu suất lọc vượt trội: Loại bỏ hiệu quả các hạt ≥0.0015 µm với hiệu suất lọc cao.

• Vật liệu chất lượng cao: Cấu trúc hoàn toàn bằng thép không gỉ 316L, đảm bảo độ bền và khả năng chịu nhiệt độ, áp suất cao.

• Thiết kế tối ưu: Kích thước tiêu chuẩn cho phép lắp đặt dễ dàng vào các hệ thống khí hiện có mà không cần thay đổi thiết kế.

• Độ sạch đầu ra cao: Đảm bảo độ sạch ≤0.03 hạt/lít (>0.01 µm), phù hợp với các quy trình yêu cầu khí siêu tinh khiết.

• Khả năng chịu nhiệt và áp suất cao: Hoạt động ổn định ở nhiệt độ lên đến 460°C và áp suất tối đa 54 bar (780 psig).

• Độ rò rỉ thấp: Đạt tiêu chuẩn rò rỉ helium 2 × 10⁻¹⁰ atm-cc/sec, đảm bảo độ kín tuyệt đối.

Lợi ích khi sử dụng

• Bảo vệ thiết bị: Giảm thiểu nguy cơ hư hỏng do hạt bụi, kéo dài tuổi thọ thiết bị.

• Tăng hiệu suất quy trình: Đảm bảo độ tinh khiết khí, giảm thiểu khuyết tật trên wafer, nâng cao năng suất.

• Tiết kiệm chi phí: Giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động và chi phí bảo trì nhờ vào độ bền và độ tin cậy cao.

• Dễ dàng tích hợp: Thiết kế nhỏ gọn, dễ dàng tích hợp vào các hệ thống hiện có mà không cần thay đổi lớn.

Ứng dụng

• Ngành bán dẫn: Lọc khí siêu tinh khiết trong các quy trình sản xuất vi mạch.

• Công nghiệp điện tử: Sử dụng trong các hệ thống khí yêu cầu độ tinh khiết cao.

• Hệ thống khí công nghiệp: Phù hợp với các ứng dụng khí trơ và khí phản ứng trong môi trường nhiệt độ và áp suất cao.

Liên hệ ngay để được tư vấn chi tiết và nhận ưu đãi !
https://filterfinevn.com/lien-he/

Link tham khảo: https://www.entegris.com/shop/en/USD/products/gas-filtration-and-purification/gas-filters/in-line-stainless-steel-gas-filters/Wafergard-II-3XP-In-line-Gas-Filters/p/WafergardII3XPInlineGasFilters