Máy phân tích khí dư là một công cụ hiệu quả để phân tích tải lượng khí của hệ thống do rò rỉ thực, rò rỉ ảo hoặc rò rỉ tường buồng. RGA có một số ưu điểm so với các thiết bị phát hiện rò rỉ khí đốt chuyên dụng, truyền thống bao gồm khả năng phân biệt giữa các loại khí khác nhau, mức độ nhạy tương đương, khả năng phát hiện rò rỉ bên trong hoặc độ rò khí "ảo", phát hiện và phân tích các vấn đề thoát khí.
Có nhiều lựa chọn tùy theo dải khối lượng phân tích
Model: e-Vision 2 Máy phân tích khí dư trong các ứng dụng thông thường (dải khối lượng phân tích 1-100amu)
E-Vision 2 RGA là một trong những dòng sản phẩm phân tích khí dư mới của MKS Instruments, được thiết kế để đáp ứng tất cả các yêu cầu truyền thống đối với cảm biến RGA nhưng với tốc độ thu thập dữ liệu không thể đạt được với các công nghệ thế hệ trước. E-Vision 2 RGA được thiết kế để mang lại giá trị tối đa cho đồng tiền.
Phát hiện rò rỉ đường chân không, mối hàn và con dấu
Chẩn đoán chân không
Giám sát bơm xuống
Giám sát buồng nướng
Kiểm tra rò rỉ đường nước làm mát trong buồng chân không
Giám sát chất gây ô nhiễm trong buồng
